潔凈車(chē)間不光要控制細(xì)菌和飛塵數(shù)量，還得控制好溫度和濕度，但是小編今天要說(shuō)的是為什么要嚴(yán)控潔凈車(chē)間的濕度？?jī)艋?chē)間濕度達(dá)標(biāo)有什么好處？如果控制不好，就會(huì)滋生細(xì)菌，影響潔凈車(chē)間的效果，甚至還會(huì)連帶產(chǎn)生其他的影響，下面就看小編的詳細(xì)分析。

1、細(xì)菌生長(zhǎng)。

細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲(chóng))在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。而相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。所以?xún)艋?chē)間的相對(duì)濕度需要控制在一定范圍。

2、相對(duì)濕度控制不好，容易造成凈化車(chē)間里的金屬腐蝕。

很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過(guò)程，將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在凈化車(chē)間周?chē)諝庵械谋砻娑己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng);另一種金屬，例如氧化銅，是不具有保護(hù)能力的。在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。

3、凈化車(chē)間相對(duì)濕度控制不好會(huì)出現(xiàn)靜電荷。

當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。凈化車(chē)間相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿(mǎn)意的折中，半導(dǎo)體凈化車(chē)間一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

4、吸水性。

相對(duì)濕度控制不好，對(duì)凈化車(chē)間吸水性產(chǎn)出一定的影響。

5、水汽冷凝。

在相對(duì)濕度較高的凈化車(chē)間環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。這種效應(yīng)稱(chēng)為凱爾文濃縮，就是當(dāng)相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的主要力量。

6、凈化車(chē)間的濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類(lèi)感覺(jué)舒適的適度范圍。

如果凈化車(chē)間濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快，從而影響工作。

7、凈化車(chē)間光刻的退化。

在半導(dǎo)體凈化車(chē)間中最迫切需要適度控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是最嚴(yán)格的。相對(duì)濕度和溫度對(duì)于光刻膠穩(wěn)定性以及精確的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。甚至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將隨著相對(duì)濕度的上升而迅速下降。當(dāng)然，改變粘性，就會(huì)改變由固定組分涂層形成的保護(hù)膜的厚度。